Оптикалык дизайн жарым өткөргүч талаасында кеңири тиркемелер бар. Фотолитография машинасында, оптикалык система жарык булагы тарабынан чыгарылган жарыкты жеңилдетилген жарыктын жарыктыгын жана силикон вафлиге силикондук вашка менен долбоорду кароого жооптуу. Демек, фотолография тутумундагы оптикалык компоненттерди долбоорлоо жана оптималдаштыруу Фотолитография машинанын ишин өркүндөтүүнүн маанилүү жолу. Төмөндө фотолитография машиналарында колдонулган оптикалык компоненттер болуп саналат:
Проекция максаты
01 Проекция максаты - бул томпок линзалар, тентек линзалар жана призмаларды камтыган бир катар линзалардан турган литографиялык машинанын негизги оптикалык компоненти.
02 Анын функциясы маскадагы схеманын схемасын кыскартуу жана аны фоторесттик менен капталган вафлиге бурушу керек.
03 Боюнъъ Максатынын тактыгы жана аткарылышы Литография машинасынын токтомуна жана сүрөткө түшүүсүнө чечкиндүү таасир этет
Күзгү
01 Күзгүжарыктын багытын өзгөртүү үчүн колдонулат жана аны туура жерге багыттоо үчүн колдонулат.
02 ЕУВ Литография машиналарында күзгүлөр өзгөчө мааниге ээ, анткени Эув жарык материалдар менен оңой эле сиңип, жогорку деңгээлдеги күзгүлөр колдонулушу керек.
03 Бөлүктүн тактыгы жана рефлордун туруктуулугу Литография машинасынын ишине чоң таасирин тийгизет.
Чыпкалар
01 Чыпкалар жарыктын керексиз толкун узундуктарын алып салуу үчүн колдонулат, фотолитография процесстин тактыгын жана сапатын жогорулатуу үчүн колдонулат.
02 Тиешелүү чыпканы тандоо менен, белгилүү бир толкун узундуктагы жарыгы литографиялык машинанын гана жарыгы киргенин камсыз кылуу, ошону менен литография процесстин тактыгын жана туруктуулугун жогорулатат.
Призмалар жана башка компоненттер
Мындан тышкары, Литография машинасы, ошондой эле, парламалар, Поляриячулар, Поляриячулар ж.б., белгилүү бир литография талаптарын канааттандыруу үчүн призмалар, поляриячулар ж.б. сыяктуу башка көмөкчү оптикалык компоненттерди колдонушу мүмкүн. Бул оптикалык компоненттерди тандоо, дизайн жана өндүрүү Тиешелүү техникалык стандарттарды жана талаптарды так аткарууга тийиш.
Жыйынтыктап айтканда, Литографиялык машиналар жаатындагы оптикалык компоненттерди колдонуу Литографиялык машиналардын ишинин натыйжалуулугун жана өндүрүштүн натыйжалуулугун жогорулатууну максат кылууга багытталган, ошону менен микроэлектроника өндүрүү өнөр жайынын өнүгүшүн колдойт. Литографияны үзгүлтүксүз өнүктүрүү менен оптикалык компоненттердин оптимизациясы жана инновациялары кийинки муундагы чиптерин өндүрүү үчүн көбүрөөк мүмкүнчүлүктөрдү берет.
Көбүрөөк түшүнүк жана эксперттик кеңеш үчүн, биздин веб-сайтка кириңизhttps://www.jiujonoptics.com/Биздин өнүмдөр жана чечимдер жөнүндө көбүрөөк билүү үчүн.
Пост убактысы: январь-02-2025
