Оптикалык дизайн жарым өткөргүч тармагында кеңири колдонууга ээ. Фотолитографиялык машинада оптикалык система жарык булагы чыгарган жарык шооласын фокустоого жана схеманын үлгүсүн көрсөтүү үчүн аны кремний пластинкасына чыгарууга жооптуу. Ошондуктан, фотолитография системасында оптикалык компоненттерди долбоорлоо жана оптималдаштыруу фотолитографиялык машинанын иштөөсүн жакшыртуунун маанилүү жолу болуп саналат. Төмөндө фотолитография машиналарында колдонулган оптикалык компоненттердин айрымдары келтирилген:
Проекциянын максаты
01 Проекциянын объектиси литографиялык машинанын негизги оптикалык компоненти болуп саналат, адатта, томпок линзалар, ойгон линзалар жана призмалар камтылган бир катар линзалардан турат.
02 Анын милдети - маскадагы схеманын үлгүсүн кичирейтүү жана аны фоторезист менен капталган пластинкага буруу.
03 Проекциялык максаттын тактыгы жана аткарылышы литография машинасынын резолюциясына жана сүрөттөө сапатына чечүүчү таасир этет.
Күзгү
01 Күзгүлөржарыктын багытын өзгөртүү жана аны туура жерге багыттоо үчүн колдонулат.
02 EUV литографиялык машиналарда күзгүлөр өзгөчө маанилүү, анткени EUV нуру материалдарга оңой сиңет, андыктан чагылышы жогору күзгүлөрдү колдонуу керек.
03 Рефлектордун бетинин тактыгы жана туруктуулугу да литографиялык машинанын иштешине чоң таасирин тийгизет.
Чыпкалар
01 Фильтрлер жарыктын керексиз толкун узундуктарын жок кылуу, фотолитография процессинин тактыгын жана сапатын жогорулатуу үчүн колдонулат.
02 Тиешелүү чыпканы тандоо менен литографиялык машинага белгилүү бир толкун узундуктагы жарык гана кирүүсүн камсыз кылууга болот, ошону менен литография процессинин тактыгын жана туруктуулугун жогорулатууга болот.
Призмалар жана башка компоненттер
Мындан тышкары, литография машинасы литографиянын конкреттүү талаптарына жооп берүү үчүн призмалар, поляризаторлор ж.б. сыяктуу башка кошумча оптикалык компоненттерди да колдоно алат. Бул оптикалык компоненттерди тандоо, долбоорлоо жана өндүрүү литография машинасынын жогорку тактыгын жана натыйжалуулугун камсыз кылуу үчүн тиешелүү техникалык стандарттарды жана талаптарды так аткарууга тийиш.
Жыйынтыктап айтканда, литография машиналары тармагында оптикалык компоненттерди колдонуу литографиялык машиналардын өндүрүмдүүлүгүн жана өндүрүшүнүн натыйжалуулугун жогорулатууга, ошону менен микроэлектроника өндүрүш тармагын өнүктүрүүгө багытталган. Литография технологиясын тынымсыз өнүктүрүү менен оптикалык компоненттерди оптималдаштыруу жана инновациялоо кийинки муундагы чиптерди өндүрүү үчүн чоң мүмкүнчүлүктөрдү берет.
Көбүрөөк түшүнүк жана эксперттик кеңеш алуу үчүн биздин веб-сайтка баш багыңызhttps://www.jiujonoptics.com/биздин өнүмдөр жана чечимдер жөнүндө көбүрөөк билүү үчүн.
Посттун убактысы: 2025-жылдын 2-январына чейин
