Субстрат:UV эритилген кремний
Өлчөмдүү сабырдуулук:-0,1мм
Жоондукка сабырдуулук:±0,05мм
Беттин тегиздиги:1(0,5)@632,8нм
Беттин сапаты:40/20
Четтери:Жер, 0,3 мм макс. Толук кеңдик
Таза диафрагма:90%
Борборлоштуруу:<1'
Каптоо:Rabs<0,25%@Дизайн толкун узундугу
Зыяндын босогосу:532нм: 10Дж/см²,10нс импульс
1064нм: 10Дж/см²,10нс импульс